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可定制成分尺寸 镍钒靶 NiV合金靶材 金属靶材
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可定制成分尺寸 镍钒靶 NiV合金靶材 金属靶材

产品纯度:99.9%,99.95%,99.***产品形状:平面靶,柱状靶,电弧靶,异型靶生产工艺:VacuumMelting尺寸:L≤4000mm,W≤350mm

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产品特性:高纯度品名:镍钒靶材牌号:R301310
产地:北京主要金属含量:93%是否危险化学品:否
杂质含量:0.05%粒度:根据客户需求目尺寸:Dia150*6mm

可定制成分尺寸 镍钒靶 NiV合金靶材 金属靶材详细介绍

在集成电路的膜层中一般用金做导电层,但金与晶圆(硅)容易生成AuSi低熔点化合物,导致金与硅界面粘接不牢固,因此在金和硅晶圆的表面之间增加了粘接层。一般用纯镍做粘接层,但镍膜层和金膜导电层之间也会扩散,因此还需要阻挡层,来防止金膜层和镍膜层之间的扩散。阻挡层常常采用熔点高的金属,还要承受较大的电流密度,高纯金属钒便能满足该要求。

  所以在集成电路领域会用到镍溅射靶材、钒溅射靶材、金溅射靶材等。镍钒溅射靶材是在镍熔体中加入钒,制成镍钒合金靶材,该合金铁磁性较弱,更有利于磁控溅射,可同时实现镍溅射靶材和钒溅射靶材的优点,一次完成镍层(粘接层)和钒层(阻挡层)的制备。由于镍钒合金无磁性,广泛应用在电子及信息产业等领域。


















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